首页 >>  正文

扩散硅压力传感器的制作流程及电路图

来源:www.zuowenzhai.com    作者:编辑   日期:2024-06-07
请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中)

能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器,属于微型化的传感器。
压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍,我就不多说了。
既然是压阻效应,就要在硅片上扩散电阻,也就是说在硅片上掺杂上别的材料,做出电阻来。一般来说P型电阻灵敏度高,必须将其扩散到N型衬底上。再详细点,就找本集成电路加工工艺的书。
说到应用,在汽车、医疗、军事上都有用的,象恩德福克公司、恩特兰公司、IC Sensors公司等,都在做这类的传感器。

压力传感器具有良好的品种,主要有:
1)使用的压力传感器的影响的晶体的压电效应
利用压电效应制造2)李压力传感器,一个传感器是最常见的工业实践中,我们通常使用的压力传感器,该传感器也被称为压电传感器。
?章传感器和测量的基本知识

测量的基本概念??1-1

观测量,测量方法,直接测量的几种方法,仪器的分辨率的精度。

??1-2的强烈和敏感元件的传感器

弹性敏感元件,感的弹性元件的弹性特性:刚度和灵敏度。弹性传感元件的形式中,它的应用范围。

??1-3的一般特性的传感器

静态特性:线性度,迟滞性,重复性,灵敏度。

动态特性:物理概念的传递函数和动态响应。

第二章电阻式传感器和应用

??2-1电阻丝

电阻丝(热阻)的工作原理,材料的热电阻的简单结构中常用的热电阻,工业热电阻传感器(热电阻丝参数形式)

应用范围:主要是讲的测温,扩展热阻流量计。

??2-2电位器

简介的结构,工作原理:介绍了空载特性的线性电位器阶梯功能,分辨率和阶梯误差,短暂的和非线性电位器的负载特性。

原理:电位器式压力传感器,电位器,加速传感器。

??2-3电阻应变计

电阻应变片的作品,介绍应变片的结构和材料。工作特性和参数的电阻应变片电阻应变片温度误差补偿方法。

介绍半导体应变计,应变计测量电路介绍。

应用:应变式力传感器,应变式压力传中,应变式加??速度传感器。

章电感式传感器及应用

??3-1自感公式

封闭磁电路中的可变间隙和开放磁场的电磁作品的功能(包括差分)。

配备电路:AC桥梁。

的应用:静态和动态的量的测量线的位移量,测量力,压力,扭矩。

??3-2差动变压器

差动变压器的基本原则。电磁工程,结构,特点,零残留的电压和消除。

配备电路:差分相敏检波电路和相敏整流电路的介绍。

应用范围:位移测量,振动和加速度的测量,压力测量。

??3-3涡流

工作原理的基本知识,形成的涡电流的范围内,测得的材料,形状和大小的传感器灵敏度。

关于配备电路中的应用实例。

??3-4压磁

被称为磁弹性的类型。

压磁效应,磁传感器的压力的基本结构,工作原理,特性和应用。

章的电容型传感器和应用

??4-1电容式传感器的特性和结构形式

的工作原理,结构,静态特性(可变间隙,变面积,变介电常数型)。

??4-2电容式传感器的特点及应用

特性与电路介绍。

应用产品:压力传感器,加速度传感器,负荷传感器,位移传感??器等。

章谐振式传感器及应用

??5-1振弦式

结构,工作原理和激励机制。

应用范围:振弦式压力传感器,压力传感器,振梁,振弦式扭矩传感器。

??5-2振动筒

结构,工作原理,振动频率和压力。

应用:振动筒式压力传感器,振动管密度传感器的。

??5-3振动膜

的结构,工作原理和应用。

第六章光线感应器和应用程序

??6-1真空光电

光电转换的光电阴极,真空光电管真空光电倍增管的真空原则。

??6-2感光元件

闪光电效应,光敏电阻,光电二极管和光电晶体管的光谱特性和应用。

??6-3光栅

光栅传感器的结构,工作原理,分割技术。

第七章电动势传感器

??7-1热电偶

热电偶工作原理,材料和常用的热电偶,结构,冷端处理和测量误差,延长线中的应用。

??7-2光电

光伏效应,硅光伏电池。

??7-3压电石英晶体的压电陶瓷

的压电效应的石英晶体,人工的铁电陶瓷的压电效应的压电材料(压电元件的应力状态和变形模式)和电路(电荷放大器)配备简介。

应用范围:压电测力传感器,频率测量。

??7-4霍尔元件

霍尔效应,结构和基本电路,霍尔元件,霍尔元件的温度补偿的特征参数,电势补偿和等位基因。

应用:微位移的测量,测量的磁场

??7-5磁电

的基本原理和结构的非线性误差补偿。

应用:测量的振动,转矩测量。

第八章其他半导体传感器和应用

??8-1热敏电阻

特点:材料特性,适应和应用。

??8-2状态压敏电阻

安森美半导体的压阻效应,扩散硅压阻器件结构的个人。

应用范围:压阻式压力传感器,压阻式加速度传感器。

??8-3湿敏电阻

湿敏电阻的结构和工作原理,特点及应用

湿敏电容的结构和工作原理,特点及应用

??8-4磁性元件

磁二极体及磁性晶体管的原理,特点及应用。

??8-5气体传感器

工作原理,特点及应用半导体气敏电阻。



?我们知道,该晶体是各向异性的,非晶体是各向同性的。某些晶体的介质,发生变形时,沿着一定的方向上的机械力,以产生的偏振效应;除去的机械力时,将返回到非充电状态,即,在压力下,当这些晶体可能会产生电的效果,这就是所谓的极化效应。科学家们开发了一个压力传感器是基于这种效果。


?压电传感器主要使用的压电材料包括石英,钠,钾,酒石酸和磷酸二氢铵。其特征在于,石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应是要发现在这种晶体,已经在一定的温度范围内,压电特性,但之后的温度超过该范围,则压电性能的完全消失(高的温度称为居里点(Curie point)“)。随着应力变化的电场略有不同(也所述压电系数??是相对低的),更换石英逐渐其他压电晶体,酒石酸钠钾,有很大的压电灵敏度和压电系数,但它是只在一个相对低的环境温度和湿度的环境中,可以施加到

。磷酸二氢铵的人工晶体,能够承受高的温度和比较高的湿度,所以已广泛应用。



?也施加在压电效应上的多晶,如包括的压电陶瓷中的钛酸钡,PZT,铌酸盐类的压电陶瓷,铌酸铅镁的压电陶瓷等的压电陶瓷。


?的是压电效应的压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量后,因为被施加的外力后的电荷,并仅在该电路具有一个输入阻抗无穷大,只保存。实际情况不是这样的,所以这个决定的压电传感器只能测量动态压力。


????压电传感器主要用于测量加速度,压力和力。一种压电加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单,体积小,重量轻,寿命长,优良的特性。压电式加速度传感器在飞机,汽车,船舶,桥梁和建筑的振动和冲击测量已经得到了广泛的应用,尤其是在航空和航天的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部??燃烧压力的测量和测量的真空度。也可以用在军工,例如,用它来衡量的瞬间开枪,子弹在枪管膛的枪口冲击波压力变化和压力。它可以被用于测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。


?在生物医学测量压电式传感器也被广泛使用,例如,脑室导管下降阻尼器制成的压电式传感器测量动态压力是如此普遍的压电传感器的应用很广泛。

?除了压电传感器,压阻式传感器的制造使用压阻效应,使用的应变的影响,应变计传感器,等等,这些不同的压力传感器,使用不同的材料的不同的效果,它们是能够在不同的播放场合独特的用途。
该板的位移引起的压力的电容式压力传感器。

    压力传感器有好多种,主要有:
  1)利用晶体的压电效应的效应的压力传感器
  2)利压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的,这样的传感器也称为压电传感器。
  第一章 传感器和测量的基本知识
  1-1 测量的基本概念

  测量的概念,测量的方法,直接测量的几种方法,仪表的精确度与分辨率。

  §1-2 传感器中的强性敏感元件

  什么叫弹性敏感元件、弹性敏感元件的弹性特性:刚度和灵敏度。弹性敏感元件的形式及其应用范围。

  §1-3 传感器的一般特性

  静特性:线性度、迟滞、重复性、灵敏度。

  动特性:传递函数和动态响应的物理概念。

  第二章 电阻型传感器及应用
  2-1 电阻丝

  电阻丝(热电阻)工作原理、热电阻材料及常用热电阻、普通工业用热电阻式传感器的简单结构(附热电阻丝参数表格)

  应用:主要讲测温,扩展到热电阻式流量计等。
  2-2 电位器
  简单介绍结构、工作原理:主要介绍线性电位器的空载特性、阶梯特性、分辨率和阶梯误差,简单介绍负载特性和非线性电位器。
  原理:电位器式压力传感器、电位器式加速度传感器。
  2-3 电阻应变片
  电阻应变片的工作原理,简介应变片的结构和材料。电阻应变片的工作特性及参数、电阻应变片的温度误差及补偿办法。
  半导体应变片简介、配合测量电路、应变仪简介。
  应用:应变式力传感器、应变式压力传器,应变式加速传感器等。
  第三章 电感型传感器及应用
  3-1 自感式
  闭磁路变隙式和开磁路螺线管式的工作原理特性(含差动)。
  配用电路:交流电桥。
  应用:测量线位移的静态量和动态量、测量力、压力、转矩。
  3-2 差动变压器式
  差动变压器的基本原理。螺线管式的工作原理、结构、特性、零点残余电压及消除。
  配用电路:差动相敏检波电路和相敏整流电路简介。
  应用:位移测量、振动和加速度测量、压力测量。
  3-3 电涡流式
  基本知识、工作原理、电涡流的形成范围、被测体的材料、形状和大小对传感器灵敏度的影响。
  配用电路简介、应用举例。
  3-4 压磁式又叫磁弹性式。
  压磁效应、压磁式传感器基本结构、工作原理、特性和应用。
  第四章 电容型传感器及应用
  4-1 电容式传感器特点及结构形式
  工作原理、结构形式、静特性(变间隙式、变面积式、变介质常数式)。
  4-2 电容式传感器特点及应用特点、配用电路简介。
  应用:压力传感器、加速度传感器、荷重传感器、位移传感器等。
  第五章 谐振型传感器及应用
  5-1 振动弦式结构、工作原理、激励方式。
  应用:振弦式压力传感器、振梁式压力传感器、振弦式扭矩传感器。
  5-2 振动筒式结构、工作原理、振动频率与压力关系。
  应用:振动筒式压力传感器、振动管式密度传感器。
  5-3 振动膜式结构、工作原理、应用。
  第六章 光传感器及应用
  6-1 真空光电元件
  真空光电变换原理和光电阴极、真空光电管、真空光电倍增管。
  6-2 光敏元件
  闪光电效应、光敏电阻、光敏二极管和光敏三极管及其光谱特性与应用。
  6-3 计算光栅
  光栅传感器的结构、工作原理、细分技术。
  第七章 电动势型传感器
  7-1 热电偶
  热电偶的工作原理、材料和常用热电偶、结构、冷端处理及测量的误差、延长导线、应用。
  7-2 光电池
  光伏效应、硅光电池。
  7-3 压电石英晶体和压电陶瓷
  石英晶体的压电效应、人工铁电陶瓷的压电效应(压电元件的受力状态和变形方式)压电材料和配用电路简介(电荷放大器)。
  应用:压电式测力传感器、频率测量。
  7-4 霍尔元件
  霍尔效应、霍尔元件的构造和基本电路、特性参数、霍尔元件的温度补偿和不等位电势补偿。
  应用:微位移的测量、磁场的测量
  7-5 磁电式基本原理与结构、非线性误差的补偿。
  应用:振动的测量、扭矩的测量。

  第八章 其它半导体传感器及应用

  §8-1 热敏电阻

  特点:材料、特性、适应及应用。

  §8-2 因态压敏电阻

  半导体压阻效应、扩散硅压阻器件结构简介。

  应用:压阻式压力传感器、压阻式加速度传感器。

  §8-3 湿敏电阻

  湿敏电阻的结构和工作原理、特性及应用

  湿敏电容的结构和工作原理、特性及应用

  §8-4 磁敏元件

  磁敏二极管和磁敏三极管的原理、特性及应用。

  §8-5 气敏元件

  半导体气敏电阻的工作原理、特性及应用。

  我们知道,晶体是各向异性的,非晶体是各向同性的。某些晶体介质,当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时,就产生了极化效应;当机械力撤掉之后,又会重新回到不带电的状态,也就是受到压力的时候,某些晶体可能产生出电的效应,这就是所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研制出了压力传感器。

  压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应就是在这种晶体中发现的,在一定的温度范围之内,压电性质一直存在,但温度超过这个范围之后,压电性质完全消失(这个高温就是所谓的“居里点”)。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低),所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数,但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应用<-- adcode -->

  。磷酸二氢胺属于人造晶体,能够承受高温和相当高的湿度,所以已经得到了广泛的应用。

  在现在压电效应也应用在多晶体上,比如现在的压电陶瓷,包括钛酸钡压电陶瓷、PZT、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等。

  压电效应是压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。

  压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业,例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。

  压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广。

  除了压电传感器之外,还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器,利用应变效应的应变式传感器等,这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料,在不同的场合能够发挥它们独特的用途。
  用压力引起极板位移的电容式压力传感器.

压力传感器有好多种,主要有:
1)利用晶体的压电效应的效应的压力传感器
2)利压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的,这样的传感器也称为压电传感器。
第一章 传感器和测量的基本知识

§1-1 测量的基本概念

测量的概念,测量的方法,直接测量的几种方法,仪表的精确度与分辨率。

§1-2 传感器中的强性敏感元件

什么叫弹性敏感元件、弹性敏感元件的弹性特性:刚度和灵敏度。弹性敏感元件的形式及其应用范围。

§1-3 传感器的一般特性

静特性:线性度、迟滞、重复性、灵敏度。

动特性:传递函数和动态响应的物理概念。

第二章 电阻型传感器及应用

§2-1 电阻丝

电阻丝(热电阻)工作原理、热电阻材料及常用热电阻、普通工业用热电阻式传感器的简单结构(附热电阻丝参数表格)

应用:主要讲测温,扩展到热电阻式流量计等。

§2-2 电位器

简单介绍结构、工作原理:主要介绍线性电位器的空载特性、阶梯特性、分辨率和阶梯误差,简单介绍负载特性和非线性电位器。

原理:电位器式压力传感器、电位器式加速度传感器。

§2-3 电阻应变片

电阻应变片的工作原理,简介应变片的结构和材料。电阻应变片的工作特性及参数、电阻应变片的温度误差及补偿办法。

半导体应变片简介、配合测量电路、应变仪简介。

应用:应变式力传感器、应变式压力传器,应变式加速传感器等。

第三章 电感型传感器及应用

§3-1 自感式

闭磁路变隙式和开磁路螺线管式的工作原理特性(含差动)。

配用电路:交流电桥。

应用:测量线位移的静态量和动态量、测量力、压力、转矩。

§3-2 差动变压器式

差动变压器的基本原理。螺线管式的工作原理、结构、特性、零点残余电压及消除。

配用电路:差动相敏检波电路和相敏整流电路简介。

应用:位移测量、振动和加速度测量、压力测量。

§3-3 电涡流式

基本知识、工作原理、电涡流的形成范围、被测体的材料、形状和大小对传感器灵敏度的影响。

配用电路简介、应用举例。

§3-4 压磁式

又叫磁弹性式。

压磁效应、压磁式传感器基本结构、工作原理、特性和应用。

第四章 电容型传感器及应用

§4-1 电容式传感器特点及结构形式

工作原理、结构形式、静特性(变间隙式、变面积式、变介质常数式)。

§4-2 电容式传感器特点及应用

特点、配用电路简介。

应用:压力传感器、加速度传感器、荷重传感器、位移传感器等。

第五章 谐振型传感器及应用

§5-1 振动弦式

结构、工作原理、激励方式。

应用:振弦式压力传感器、振梁式压力传感器、振弦式扭矩传感器。

§5-2 振动筒式

结构、工作原理、振动频率与压力关系。

应用:振动筒式压力传感器、振动管式密度传感器。

§5-3 振动膜式

结构、工作原理、应用。

第六章 光传感器及应用

§6-1 真空光电元件

真空光电变换原理和光电阴极、真空光电管、真空光电倍增管。

§6-2 光敏元件

闪光电效应、光敏电阻、光敏二极管和光敏三极管及其光谱特性与应用。

§6-3 计算光栅

光栅传感器的结构、工作原理、细分技术。

第七章 电动势型传感器

§7-1 热电偶

热电偶的工作原理、材料和常用热电偶、结构、冷端处理及测量的误差、延长导线、应用。

§7-2 光电池

光伏效应、硅光电池。

§7-3 压电石英晶体和压电陶瓷

石英晶体的压电效应、人工铁电陶瓷的压电效应(压电元件的受力状态和变形方式)压电材料和配用电路简介(电荷放大器)。

应用:压电式测力传感器、频率测量。

§7-4 霍尔元件

霍尔效应、霍尔元件的构造和基本电路、特性参数、霍尔元件的温度补偿和不等位电势补偿。

应用:微位移的测量、磁场的测量

§7-5 磁电式

基本原理与结构、非线性误差的补偿。

应用:振动的测量、扭矩的测量。

第八章 其它半导体传感器及应用

§8-1 热敏电阻

特点:材料、特性、适应及应用。

§8-2 因态压敏电阻

半导体压阻效应、扩散硅压阻器件结构简介。

应用:压阻式压力传感器、压阻式加速度传感器。

§8-3 湿敏电阻

湿敏电阻的结构和工作原理、特性及应用

湿敏电容的结构和工作原理、特性及应用

§8-4 磁敏元件

磁敏二极管和磁敏三极管的原理、特性及应用。

§8-5 气敏元件

半导体气敏电阻的工作原理、特性及应用。

我们知道,晶体是各向异性的,非晶体是各向同性的。某些晶体介质,当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时,就产生了极化效应;当机械力撤掉之后,又会重新回到不带电的状态,也就是受到压力的时候,某些晶体可能产生出电的效应,这就是所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研制出了压力传感器。

压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应就是在这种晶体中发现的,在一定的温度范围之内,压电性质一直存在,但温度超过这个范围之后,压电性质完全消失(这个高温就是所谓的“居里点”)。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低),所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数,但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应用<-- adcode -->

。磷酸二氢胺属于人造晶体,能够承受高温和相当高的湿度,所以已经得到了广泛的应用。

在现在压电效应也应用在多晶体上,比如现在的压电陶瓷,包括钛酸钡压电陶瓷、PZT、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等。

压电效应是压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。

压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业,例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。

压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广。

除了压电传感器之外,还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器,利用应变效应的应变式传感器等,这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料,在不同的场合能够发挥它们独特的用途。
用压力引起极板位移的电容式压力传感器.


14773581555压阻式压力传感器的压力测量实验
山秦姬答:四、实验步骤:1、将压力传感器安装在实验模板的支架上,根据图二连接管路和电路(主机箱内的气源部分,压缩泵、贮气箱、流量计已接好)。引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中(注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压,则可轻松拉出),另一端口与压力传感器相连。压力传感器引线...

14773581555扩散硅传感器和陶瓷压阻传感器有什么不同?
山秦姬答:散硅压力传感器是外加压力通过不锈钢膜片、内部密封的硅油传递到敏感芯片上,敏感芯片不直接接触被测介质。以其灵敏度输出高,动态响应好,测量精度高,稳定性好,易于小型化,但易受温度影响,对于大于1kpa的均可测量是中档传感器的首选。陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷...

14773581555压力传感器工作原理详解,几分钟带你搞定压力传感器
山秦姬答:在应变计型压力传感器中,箔或硅应变计布置为惠斯通电桥。应变仪连接到某种隔膜上,当施加压力时隔膜会发生偏转。然后由惠斯通电桥电路测量、放大和调节所得信号,以提供代表施加压力的合适传感器电压或变送器电流输出,如下图所示。桥式传感器的电路图 压变是测量 系统中两个压力值或两个压力点之间的压力...

14773581555扩散硅压力传感器的制作流程及电路图
山秦姬答:第七章 电动势型传感器 7-1 热电偶 热电偶的工作原理、材料和常用热电偶、结构、冷端处理及测量的误差、延长导线、应用。7-2 光电池 光伏效应、硅光电池。7-3 压电石英晶体和压电陶瓷 石英晶体的压电效应、人工铁电陶瓷的压电效应(压电元件的受力状态和变形方式)压电材料和配用电路简介(...

147735815554种进气压力传感器的结构、原理、检测、维修方法
山秦姬答:1.压敏电阻式进气压力传感器的结构与原理下图所示为压敏电阻式进气压力传感器的结构示意图。该传感器主要由压力转换元件和放大压力转换元件输出信号的混合集成电路为主构成。压力转换元件是利用半导体的压电效应制成的硅(膜)片。硅(膜)片的一面是真空区,另一面作用的是进气管压力,其工作原理与电磁式进气压力传感器基本...

14773581555硅压阻式压力传感器原理图
山秦姬答:压阻式压力传感器的基本原理是惠斯顿电桥,输出差分电压。如下图:对于硅压阻式压力传感器来说,由于材料的特性,该电桥上的四个电阻都存在温度系数,并且,压敏系数也存在温度系数,且小于零。所以,必须要温度补偿。该类传感器在恒流供电和恒压供电时,对于灵敏度的温度漂移有很大的差别。

14773581555压力传感器原理及应用
山秦姬答:5.1应变式压力传感器5.2压阻式压力传感器5.3电容式压力传感器5.4压电压力传感器5.5感应式压力传感器5.6霍尔压力传感器5.7涡流压力传感器5.8谐振压力传感器六、压阻式压力传感器的电源及信号处理电路6.1供电电路6.2处理电路七、关于压力传感器的一个问题7.1问题7.2回答八、常见问题二、什么是压力传感器?压力传感器(pressure sensor,...

14773581555如何做好压力传感器封装?
山秦姬答:每个压力传感器的核心都是硅芯片,并需要专门的设备和技能来处理小而敏感的芯片并进行精细的引线键合,所以压力传感器在封装过程中对设备的要求很高,设备工艺不过关的话会导致传感器出现严重质量问题。封装过程主要包含:贴膜—切割—贴片—焊线—模封以及系统测试六部分环节,其中前四个工艺步骤(前段封装)...

14773581555扩散硅压力变送器的工作原理
山秦姬答:工作原理扩散硅压力变送器通过温度传感器把温度信号变为电信号,再由前置放大器把此电信号放大滤波,送往CPU的A/D 转换模块进行模拟量到数字量的变换,最后由CPU进行数据处理并显示及PWM输出。原理框图如下:被侧介质---〉传感器---〉电子线路---〉输出信号被测介质的压力直接作用于传感器的陶瓷/扩散硅...

14773581555四线制压力传感器怎么接线?
山秦姬答:四线制压力传感器是两个电源输入端,另外两个是信号输出端。至于怎么接到显示仪表,要看仪表的量程是多大,如果有和输出信号相适应的档位,就可以直接测量,否则要加信号调整电路。四线制变送器如图所示,其供电大多为220V.AC,也有供电为24V.DC的。输出信号有4-20mA.DC,负载电阻为250Ω,或者0-10...


(编辑:欧竿骨)
联系方式:
关于我们 | 客户服务 | 服务条款 | 联系我们 | 免责声明 | 网站地图
@ 作文摘要网